Plattenkalziniertes Aluminiumoxid- Polierpulver wird aus hochwertigem industriellem Aluminiumoxidpulver als Rohmaterial hergestellt und in einem speziellen Produktionsverfahren verarbeitet. Die Kristallform des hergestellten Aluminiumoxid-Polierpulvers ist sechseckig, flach und tafelförmig, daher wird es als plättchenförmiges oder tafelförmiges Aluminiumoxid bezeichnet.
Bei Halbleitermaterialien wie Halbleiter-Silizium-Wafern kann die Anwendung von Aluminiumoxidplatten die Schleifzeit verkürzen, die Schleifleistung erheblich verbessern, den Verlust der Schleifmaschine verringern, Arbeits- und Schleifkosten einsparen und die Schleifdurchgangsrate erhöhen.
Chemische Zusammensetzung
Chemisch | Garantierter Wert | Typischer Wert |
Al2O3 | ≥99,0 % | 99,36 % |
SiO2 | <0,2 % | 0,017 % |
Fe2O3 | <0,1 % | 0,03 % |
Na2O | <0,6 % | 0,35 % |
Physikalische Eigenschaften
Material | α-Al2O3 |
Farbe | Weiß |
Spezifisches Gewicht | ≥3,9 g/cm3 |
Mohshärte | 9,0 |
Typ | D3(ähm) | D50 (eins) | D94(um) |
CA45 | 50,5-56,2 | 33-38,5 | 20,7-24,5 |
CA40 | 39-44,6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
CA35 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
CA30 | 28,1-32,3 | 19,2-22,3 | 13,4-15,6 |
CA25 | 24,4-28,2 | 16,1-18,7 | 9,6-11,2 |
CA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8,2-9,8 |
CA15 | 14,8-17,2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
CA12 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
CA09 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3,3-3,9 |
CA05 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
CA03 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |